Seoul Optodevice购699彩票买Candela CS20以优化外延生产

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工艺控制及良率管理方案KLA-Tencor公司宣布,韩国Seoul Optodevice近期购买其Candela CS20平台,这表明MOCVD工艺中进行缺陷检测的重要性。众所周知,外延片和衬底工艺的缺陷会影响良率及可靠性,这些缺陷包括缺陷坑、裂缝、异形和表面不平整;而衬底缺陷包括微

      工艺控制及良率管理方案KLA-Tencor公司宣布,韩国Seoul Optodevice近期购买其Candela CS20平台,这表明MOCVD工艺中进行缺陷检测的重要性。众所周知,外延片和衬底工艺的缺陷会影响良率及可靠性,这些缺陷包括缺陷坑、裂缝、异形和表面不平整;而衬底缺陷包括微粒、划痕和沾污。

      KLA-Tencor表示,Candela CS20系统专为检测透明材料(GaN和蓝宝石)而设计的,对表面反射、形貌、散射及相位特性的同步检测。利用实时分级功能,该套自动检测系统可为有效的工艺控制提供有据可依的数据。据解释,Candela CS20的检测结果能帮助用户优化外延工艺并提高产能。

      KLA-Tencor生长及新兴市场部门的副总Jeff Donnelly表示,LED市场正以35%的速度逐年上升,我们在某些产品上作重要投资,加上该我们在工艺控制领域积累的多年经验,提供更优秀的产品使之满足技术路线图;帮助解决LED制造业的问题,比方说制造成本。

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